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合作案例

清華大學(xué)采購PLUTO-T等離子清洗機清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備，最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機。根據(jù)客戶的技術(shù)要求，提供了可以滿足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機，以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。
上海交大采購PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備 2020年12月，上海交通大學(xué)采購我司PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備。該設(shè)備采用13.56MHz射頻，涂覆面積為150*150mm，具備良好的穩(wěn)定性與可重復(fù)性。
電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機進行晶圓去膠電子科技大學(xué)已采購多臺等離子設(shè)備，包括PLUTO-T等離子清洗機，PLUTO-MD等離子去膠機等，用戶反饋良好。主要涉及的應(yīng)用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

新聞中心

企業(yè)新聞| CORPORATE NEWS

: 等離子去膠機采用了一種非接觸式脫膠技術(shù)

等離子去膠機是一種利用等離子體技術(shù)進行表面清洗和去膠的設(shè)備。其基本原理是通過氣體放電產(chǎn)生等離子體，這些高能粒子能夠解離化學(xué)鍵、改變分子結(jié)構(gòu)，從而有效去除硅片、玻...
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技術(shù)文章| Technical articles

: 一起來了解下等離子表面處理系統(tǒng)

要想理解等離子表面處理系統(tǒng)，需要先了解等離子體的概念，等離子體，被譽為物質(zhì)的第四態(tài)，是氣體在高溫、強電場或激光等能量作用下，部分或全部電離形成的一種由電子、離子、自由基及中性粒子組成的混合體系。與固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)相比，等離子體具有特殊的物理化學(xué)性質(zhì)，如高能量密度、高反應(yīng)活性等，這些特性使得等離子體在材料表面處理中展現(xiàn)出巨大的潛力。等離子表面處理系統(tǒng)利用等離子體對材料表面進行物理或化學(xué)改性的技術(shù)。其基本原理是通過將氣體(如氬氣、氧氣、氮氣等)引入真空腔室，并在其中施加電場或射頻...
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應(yīng)用案例

01 等離子清洗
等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進行超清洗。

圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
02 等離子去膠
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件表面的光阻材料等。

圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
03 等離子活化改性
改善粘合力-用于光學(xué)元件、生物醫(yī)學(xué)、封裝領(lǐng)域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；

圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
04 等離子刻蝕
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

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